Насосы EBARA серии ESR

Описание Насосы серии ESR прекрасно подходят для многих применений от откачки шлюзовых камер и электронной микроскопии до химического осаждения CVD и...

Получить консультацию по Насосы EBARA серии ESR

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Описание серии

Описание

Насосы серии ESR прекрасно подходят для многих применений от откачки шлюзовых камер и электронной микроскопии до химического осаждения CVD и откачки химически-активных газов. При этом являются одними из самых энергоэффективных сухих насосов на современном рынке вакуумного оборудования. Подходят для работы в чистых помещениях. Роторы насосов сделаны из специальных коррозионностойких. Насосы данной серии предназначены для применения в процессах высокотемпературной обработки, осаждения тонких плёнок, ионно-плазменного травления, а также откачки вакуумных камер большого объёма Для применения в «чистых» технологических процессах продувка азотом не требуется. Отличительной чертой данной серии является очень высокая химическая стойкость.

Технические характеристики

Характеристики моделей	ESR20N	ESR30N	ESR80WN	ESR100WN	ESR200WN	ESR300WN	ESR500WN
Быстрота действия, м³/ч	78-120	180	240-510	600	600-1200	1800	2760
Предельное остаточное давление, Па	0,67	0,67	0,2	0,2	0,13	0,2	0,2
Потребляемая мощность (макс/ при p_ост), кВт	2,5/0,55	3,5/1,7	4,5/0,8	4,5/1,0	5,0/0,8	7,5/2,9	7,9/3,1
Размер фланцев (вход/выход)	NW40/NW40	NW50/NW40	NW50/NW40	ISO100/NW40	ISO100/NW40	NW100/NW40	NW100/NW40
Водяное охлаждение, л/мин	2	2	2	2	2	3,5	3,5-8
Расход азота на продувку, л/мин	2-12	2-12	2-12	2-12	2-12	2-12	2-12
Габаритные размеры, мм	635х280х320	760х400х458	660х380х655	704х380х705	790х380х644	825х460х880	1092х460х955
Масса, кг	90	190	180	180	250	390	500