Производитель: Stanford Research Systems
Масса, кг: 2.7
Чувствительность, А/Торр: 2х10^(-4) (FC) и менее 200 (EA)
Статус: В наличии
Описание
Анализаторы остаточных газов RGA на 100, 200 и 300 а.е.м. от компании Stanford Research Systems (SRS) обеспечивают детальный газовый анализ вакуумных систем. Каждая система серии RGA комплектуется квадрупольным зондом, электронным блоком управления (ЭБУ) и программным пакетом для Windows, работающим в режиме реального времени, который используется для сбора и анализа данных, а также для управления зондом.
Особенности и преимущества
Прочная конструкция зонда
Зонд состоит из ионизатора, квадрупольного масс-фильтра и детектора. Простая конструкция имеет небольшое количество деталей, что минимизирует выделение газов и снижает вероятность попадания примесей в вакуумную систему.
Компактный электронный блок управления
Плотно упакованный ЭБУ содержит всю необходимую электронику для управления головкой RGA. Блок управления питается либо от внешнего источника питания +24В постоянного тока (2,5А), либо от дополнительного встроенного модуля питания, подключаемого к розетке переменного тока.
Уникальная конструкция нити накаливания
Для эмиссии электронов используется двойная иридиевая нить накаливания, покрытая оксидом тория (ThO2·Ir) с большим сроком службы.
Макро-мультканальный диодный электронный умножитель (CDEM)
Детектор Цилиндр Фарадея является стандартным в системах SRS RGA, что позволяет измерять парциальное давление от 10-5 до 5х10-11. Для увеличения чувствительности и скорости сканирования предлагается, дополнительный электронный умножитель, который детектирует парциальное давление до 5х10-14 Торр.
Полезные свойства
Модель RGA анализаторов остаточных давлений SRS имеют встроенную функцию дегазации. Источник ионов тщательно очищается, что значительно снижает вклад ионизатора в фоновый шум.
Полная программируемость
Связь с компьютером осуществляется через интерфейс RS-232. Сканирование данных, обнаружение утечек и параметры зонда управляются и контролируются с помощью высокоуровневого набора команд.
ПО RGA для Windows
RGA-системы поддерживаются программным пакетом Windows, работающим на ПК в режиме реального времени. Интуитивно понятный графический интерфейс пользователя позволяет быстро и легко выполнять измерения.
Работа с несколькими головками
Программное обеспечение поддерживает работу с несколькими головками, когда требуется более одного RGA. Из программного обеспечения можно контролировать до восьми электронных блока управления.
|
Модель/ Параметры |
RGA100 |
RGA200 |
RGA300 |
|
Диапазон измерений, а.е.м. |
100 |
200 |
300 |
|
Тип масс-фильтра |
Квадруполь |
||
|
Тип детектора |
Цилиндр Фарадея (FC)/Электронный умножитель (EA) |
||
|
Разрешающая способность |
> 0.5 а.е.м. при высоте пика в 10%. Настраивается на постоянную ширину пика во всем диапазоне масс |
||
|
Чувствительность, А/Торр |
2х10-4 (FC) и менее 200 (EA) |
||
|
Рабочий диапазон |
10-4 Торр UHV (FC) 10-6 Торр UHV (EA) |
||
|
Максимальная рабочая температура, ˚С |
70 |
||
|
Температура прогрева, ˚С |
3000 |
||
|
Фланец для подсоединения к системе |
CF40 |
||
|
Программное обеспечение |
Windows и LabVIEW |
||
|
Нить накаливания |
Легко заменяемая двойная Торий-Иридиевая нить (ThO2·Ir) |
||
|
Минимально регистрируемое парциальное давление, Торр |
5х10−14 |
||
|
Интерфейс для подключения ПК |
RS-232 и Ethernet |
||
|
Электропитание (по умолчанию) |
24 VDC (2.5 A) |
||
|
Время прогрева, мин |
~ 30 |
||
|
Масса, кг |
2.7 |
||