- Главная
- Производители
- EBARA
- Вакуумные насосы EBARA
- Винтовые насосы EBARA
- Насосы EBARA серии ESA
Насосы EBARA серии ESA
Описание Вакуумные насосы серии ESA идеально подходят для откачки камер больших объемов в таких областях, как производство LCD дисплеев, PV батарей, C...
Насосы EBARA серии ESA
Описание
Вакуумные насосы серии ESA идеально подходят для откачки камер больших объемов в таких областях, как производство LCD дисплеев, PV батарей, CVD, PVD, SEM и MEMS технологий.
Основной насос дополнен двухроторным насосом РУТС для повышения скорости откачки. На насосах установлена интеллектуальная система управления вращением роторов, что позволяет регулировать скорость откачки и повысить энергоэффективность работы насоса.
Особенности и преимущества
- Высокая скорость откачки в широком диапазоне давлений.
- Использование эффективных двигателей постоянного тока.
- Возможность работы насоса при высоких температурах.
- Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды.
Технические характеристики
| Характеристики моделей | ESA25D | ESA70WD | ESA200W | ESA300W | ESA500W | |
| Быстрота действия, м3/ч | 150 | 420 | 1200 | 1800 | 3000 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 2 | 0,27 | 0,53 | 0,53 | 1 | |
| Потребляемая мощность (макс/ при pост), кВт | 3,7/2,6 | 5,9/3,6 | 7,5/3,4 | 12,5/7,3 | 24,1/6,7 | |
| Размер фланцев (вход/выход) | KF50/KF50 | KF50/KF50 | ISO100/NW40 | ISO100/NW40 | ISO100/NW50 | |
| Расход азота на продувку, л/мин | 11-13 | 14-16 | 10 | 5 | 6 | |
| Габаритные размеры, мм | Длина | 1074 | 985 | 920 | 1100 | |
| Ширина | 394 | 400 | 400 | 620 | ||
| Высота | 520 | 770 | 760 | 905 | ||
| Масса, кг | 240 | 300 | 410 | 700 | 750 | |
Товары серии ESA
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 180
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.04
- Мощность, кВт: 3.7
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 420
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2,7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.2
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1680
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 6.6
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 2820
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 5.1
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
- Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 504
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
- Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
