- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Винтовые насосы EBARA
- Винтовые насосы EBARA серии ESA
Винтовые насосы EBARA серии ESA
На этой странице вы можете выбрать винтовые насосы EBARA серии ESA — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии ESA для сухой безмасляной вакуумной откачки в чистых технологических процессах.
Оборудование применяется в полупроводниковом производстве, электронике, вакуумном напылении, химии и лабораторных установках.
Серия ESA обеспечивает надежную работу без масла в рабочей камере, устойчивость к длительной нагрузке и совместимость с автоматизированными системами. Насосы подходят для процессов, где критичны чистота и стабильность вакуума.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии ESA для сухой безмасляной вакуумной откачки в чистых технологических процессах.
Оборудование применяется в полупроводниковом производстве, электронике, вакуумном напылении, химии и лабораторных установках.
Серия ESA обеспечивает надежную работу без масла в рабочей камере, устойчивость к длительной нагрузке и совместимость с автоматизированными системами. Насосы подходят для процессов, где критичны чистота и стабильность вакуума.
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 180
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.04
- Мощность, кВт: 3.7
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 420
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2,7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 7.4
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.2
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1680
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 6.6
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 2820
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 5.1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 4800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
- Мощность, кВт: 7.4
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 504
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
- Мощность, кВт: 7.4
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 7.4
Винтовые насосы EBARA серии ESA
Вакуумные насосы серии ESA идеально подходят для откачки камер больших объемов в таких областях, как производство LCD дисплеев, PV батарей, CVD, PVD, SEM и MEMS технологий.
Основной насос дополнен двухроторным насосом РУТС для повышения скорости откачки. На насосах установлена интеллектуальная система управления вращением роторов, что позволяет регулировать скорость откачки и повысить энергоэффективность работы насоса.
Особенности и преимущества
- Высокая скорость откачки в широком диапазоне давлений.
- Использование эффективных двигателей постоянного тока.
- Возможность работы насоса при высоких температурах.
- Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды.
