9-12 ноября ЭРСТВАК примет участие в выставке "ХИМИЯ-2026"

Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3002

product-card
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3002
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3002
Описание
Характеристики
Графики и чертежи
Материалы
Проекты
Отзывы клиентов

Безмасляные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе позволяют добиться минимального уровня шума и вибраций. Магнитные подшипники полностью исключают механический износ и необходимость в обслуживании.

Насосы KYKY серии CXF отлично подходят для процессов, где недопустимо наличие паров углеводородов. Магнитный подвес также позволяет устанавливать эти турбомолекулярные насосы в произвольном положении в пространстве. Высокая производительность позволяет применять насосы для откачки вакуумных камер больших объёмов.

Применение

  • нанесение оптических покрытий;
  • микроэлектроника;
  • установки имитации космического пространства;
  • передвижные вакуумные посты и течеискатели;
  • установки для осаждения распылением;
  • ионные источники и электронно-лучевые испарители;
  • газовая эпитаксия;
  • газовая хроматография;
  • производство полупроводников и микроэлектроники;
  • биотехнологии;
  • исследования в области ядерной физики и ускорителей заряженных частиц.

Особенности и преимущества

  • отличное соотношение скорости откачки и цены;
  • в комплект поставки входят контроллер, насос, кабели, защитный экран и система охлаждения;
  • стандартная гарантия на 2 года с возможностью продления;
  • доступны ISO/CF фланцы;
  • полностью безмасляная система откачки;
  • контроль качества до отгрузки — 48-часовой тест на работоспособность;
  • простота технического обслуживания и эксплуатации.

Доступны химостойкие, противоударные и другие варианты исполнения.

Технические характеристики

Скорость откачки по аргону, м3/чСкорость откачки по водороду, м3/чСкорость откачки по гелию, м3/чПодшипникКоэффициент сжатия по азотуКоэффициент сжатия по водородуКоэффициент сжатия по гелиюКоэффициент сжатия по аргону
1044062282550Магнитный109103104109
Тип
Турбомолекулярные
Уровень вакуума
Сверхвысокий
Тип смазки
Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч
11736
Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
1.0E-9
Мощность, кВт
1.5
Частота вращения, об/мин
24000
Входной патрубок
ISO-F320
Выходной патрубок
KF40
Количество ступеней
Многоступенчатый
Охлаждение
Водяное
Масса, кг
76
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
337×322×417
Напряжение, В
220
Серия
CXF
Расход рабочей жидкости, л/мин
3
Время выхода на режим, мин
10
Температура охлаждающей воды
+5 — +20

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

 

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Аватар пользователя
Юрий Бычков

С компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.

Аватар пользователя
1serga2

Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика

Аватар пользователя
Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Аватар пользователя
Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

Товары из этой же серии

Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1402 ISO-F200
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1402 ISO-F200
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 5040
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1402 CF200
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1402 CF200
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 5040
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-10
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2302 CF250
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2302 CF250
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 8496
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-10
  • Мощность, кВт: 1.5
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1401 ISO-F200
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1401 ISO-F200
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 4608
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1401 CF200
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1401 CF200
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 4608
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-10
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2301
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2301
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 7740
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-10
  • Мощность, кВт: 1.5
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2301 ISO-F 250
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2301 ISO-F 250
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 7740
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Мощность, кВт: 1.5
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2302
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2302
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 8496
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Мощность, кВт: 1.5
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 10620
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Мощность, кВт: 1.5
В корзину
1

Не забудьте купить

Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 75-10
Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 75-10
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 492
  • Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 55
  • Уровень шума, дБ(А): 78
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Комбинированный вакуумный датчик THYRACONT VCP63MV
Комбинированный вакуумный датчик THYRACONT VCP63MV
  • Производитель: Thyracont
  • Страна: Германия
  • Серия: VCP6
В корзину
1
Портальный фрезерный обрабатывающий центр EMVG-4208
Портальный фрезерный обрабатывающий центр EMVG-4208
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 11400 × 5300 × 5200
  • Страна: Китай
  • Серия: EMVG
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 400 C
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 400 C
  • Производительность, н.м³/час: 400
  • Чистота азота, %: 99.9
  • Давление на выходе, бар: 8
  • Тип конструкции: Две колонны
  • Тип: Адсорбционный
  • Масса, кг: 5400
В корзину
1
Муфта переходная ER-Lok - U (MT)
Муфта переходная ER-Lok - U (MT)
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: U
В корзину
1
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK ERVP 70
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK ERVP 70
  • Тип: Бустерные типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 252
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0005
  • Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
Тройник-переходник King Lai CF-RT-600x450
Тройник-переходник King Lai CF-RT-600x450
  • Производитель: King Lai
  • Страна: Китай
  • Серия: RT
  • Длина, мм: 109.7
В корзину
1
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK VBP1200i
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK VBP1200i
  • Тип: Бустерные типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1500
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0003
  • Мощность, кВт: 3
В корзину
1
Вакуумная откачная система ERSTVAK VVU2*300/2400i
Вакуумная откачная система ERSTVAK VVU2*300/2400i
  • Охлаждение: Воздушное (водяное опциональное)
  • Напряжение, В: 380
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: VVU
  • Присоединительный размер: DN160 (вход) / G2” (выход)
В корзину
1
Низковольтный двунаправленный программируемый источник постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY S7000NG-10K-0100-0400
Низковольтный двунаправленный программируемый источник постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY S7000NG-10K-0100-0400
  • Мощность, кВт: 10
  • Напряжение, В: 100
  • Производитель: Kewell
  • Страна: Китай
  • Серия: S7000
В корзину
1

Вы смотрели

Токарный обрабатывающий центры с приводным инструментом ETHI 578-525M
Токарный обрабатывающий центры с приводным инструментом ETHI 578-525M
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3975 × 2085 × 1980
  • Страна: Китай
  • Серия: ETHI
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-13/24
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-13/24
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 24000
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 160
  • Мощность, кВт: 560
  • Частота вращения, об/мин: 372
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRP-2-2500
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRP-2-2500
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 2500
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
  • Мощность, кВт: 75
  • Частота вращения, об/мин: 700
В корзину
1
Система высокопроизводительных программируемых электронных нагрузок постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY E5000PG-2K2-1200-0080
Система высокопроизводительных программируемых электронных нагрузок постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY E5000PG-2K2-1200-0080
  • Мощность, кВт: 2.2
  • Производитель: Kewell
  • Страна: Китай
  • Серия: E5000
В корзину
1
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN20SH
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN20SH
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 6120
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN32SH
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN32SH
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 14400
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-BWС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-BWС
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 9.612
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 140 F
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 140 F
  • Производительность, н.м³/час: 140
  • Чистота азота, %: 98
  • Давление на выходе, бар: 8
  • Тип конструкции: Модульная
  • Тип: Адсорбционный
  • Масса, кг: 1025
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-40
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-40
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 3200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
  • Мощность, кВт: 75
  • Частота вращения, об/мин: 590
В корзину
1
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 1005 CR
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 1005 CR
  • Тип: Когтевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 950
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 200
  • Мощность, кВт: 18.5
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!