- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенные насосы CRYO H&I
- Криогенные насосы CRYO H&I серии GENCRYO
Криогенные насосы CRYO H&I серии GENCRYO
На этой странице вы можете выбрать криогенные насосы CRYO H&I серии GencRyo — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает криогенные насосы CRYO H&I серии GENCRYO для систем, где требуется стабильный высокий вакуум и чистая рабочая среда. Крионасосы связывают газы и пары на охлажденных поверхностях, поэтому подходят для чувствительных производственных и научных процессов без риска масляного загрязнения.
Серия GENCRYO может конфигурироваться под разные ограничения по энергии и монтажному пространству, в том числе с автоматической регенерацией. Оборудование применяют в вакуумном напылении, полупроводниках, ускорителях, установках ядерного синтеза и аэрокосмических камерах.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает криогенные насосы CRYO H&I серии GENCRYO для систем, где требуется стабильный высокий вакуум и чистая рабочая среда. Крионасосы связывают газы и пары на охлажденных поверхностях, поэтому подходят для чувствительных производственных и научных процессов без риска масляного загрязнения.
Серия GENCRYO может конфигурироваться под разные ограничения по энергии и монтажному пространству, в том числе с автоматической регенерацией. Оборудование применяют в вакуумном напылении, полупроводниках, ускорителях, установках ядерного синтеза и аэрокосмических камерах.
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 6120
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 18000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 18000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 36000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 36000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 2376
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 6120
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 18000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 21600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 36000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 43200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 54000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 57600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 61200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 61200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 72000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 100800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 122400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
Криогенные насосы CRYO H&I серии GENCRYO
Скорость откачки: от 1 700 до 14 000 л/с
Предельное остаточное давление: до 1х10-9мбар
Насосы серии HPM — сертифицированные (CE и SEMI) высокопроизводительные крионасосы, предназначенные для использования в полупроводниковой промышленности, производстве светодиодов, медицинской диагностике, анализе состояния поверхностей носителей, а также для различных исследований в высоком вакууме. Насосы спроектированы так, чтобы занять минимум рабочего пространства, что делает установки легкими в обслуживании.
Данный тип насосов имеет лучшее отношение скорости откачки к затратам на технологическое обслуживание. Криогенные насосы предлагаются в двух различных исполнениях — стандартном и с быстрой регенерацией («Q»). При быстрой регенерации нагревается только одна из ступеней откачки насоса, тем самым увеличивая сорбционную емкость насоса на такие газы, как водород, гелий и аргон. Полную регенерацию насоса при этом нужно проводить после каждых 10 – 15 циклов быстрой регенерации.
Особенности и преимущества
- Полностью безмасляный процесс откачки для высокопроизводительных систем
- Высокая скорость откачки по парам воды
- Достижение максимальных скоростей для входного высоковакуумного фланца определенных размеров
- Высокая надежность и срок службы
- Специальная компактная версия насоса «L»
Применение
- Обработка поверхностей
- Установки имитации космического пространства
- Установки для осаждения распылением
- Ионные источники и электронно-лучевые испарители
- Производство полупроводников и микроэлектроники
- Исследования в области ядерной физики и ускорителей заряженных частиц