- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Винтовые насосы EBARA
- Винтовые насосы EBARA серии EV-M
Винтовые насосы EBARA серии EV-M
На этой странице вы можете выбрать винтовые насосы EBARA серии EV-M — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии EV-M для сухой вакуумной откачки в чистых и высокотехнологичных процессах.
Оборудование применяется в полупроводниковой промышленности, вакуумном напылении, химии, аналитике и исследовательских камерах.
Серия EV-M обеспечивает безмасляную рабочую камеру, стабильное давление и надежную длительную эксплуатацию. Насосы подходят для систем, где требуется высокая чистота потока и совместимость с автоматизированным управлением.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии EV-M для сухой вакуумной откачки в чистых и высокотехнологичных процессах.
Оборудование применяется в полупроводниковой промышленности, вакуумном напылении, химии, аналитике и исследовательских камерах.
Серия EV-M обеспечивает безмасляную рабочую камеру, стабильное давление и надежную длительную эксплуатацию. Насосы подходят для систем, где требуется высокая чистота потока и совместимость с автоматизированным управлением.
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 110
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.05
- Мощность, кВт: 1.2
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.05
- Мощность, кВт: 1.8
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1.9
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 1800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 2.3
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 3000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 2.1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 2.8
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 6600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 5.3
Винтовые насосы EBARA серии EV-M
Серия EV-M сконструирована для откачки большого объема выделяющихся при технологическом процессе побочных продуктов, образующихся при изготовлении полупроводников, жидких кристаллов и солнечных батарей. В данной серии используются передовые технологии для создания оптимального баланса между химической стойкостью и энергоэффективностью. Данная серия представляет собой последнее поколение насосов, в которых минимизировано время простоя на техническое обслуживание и операционные издержки.
Серия сухих вакуумных насосов EV-M служит для откачки агрессивных сред NF3, HF, Cl2 SiH2Cl2 и других.
Преимущества и особенности
- Интеллектуальная система управления
- Низкое потребление электроэнергии
- Сниженные габаритные размеры
- Датчик протечки воды
Применение
- Травление металлов
- CVD-технологии
