Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 1100
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 7
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 5 000
Производительность по водороду, л/с: 10 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 4 500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 16 000
Время охлаждения, мин: 150
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 1400
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 5.5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40P
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 6 000
Производительность по водороду, л/с: 12 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 5 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 18 000
Время охлаждения, мин: 130
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-200/1300FE 200 CF (воздушное охлаждение)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1300
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: 9
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVDM-400
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 8500
Предельное остаточное давление, мбар: 7*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 5
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001E
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 2950
Время выхода на режим, мин: 9
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-160/700FE 160 CF
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 700
Предельное остаточное давление, мбар: 8x10^-10
Время выхода на режим, мин: 7