Ионно-геттерный магниторазрядный вакуумный насос KYKY 2L-200C

Ионно-геттерный магниторазрядный вакуумный насос KYKY 2L-200C — безмасляный ионный насос для получения чистого высокого и сверхвысокого вакуума. В рабочем объёме нет вращающихся механических узлов и масляной рабочей жидкости: остаточный газ ионизируется в электрическом разряде, а образующиеся ионы взаимодействуют с поверхностями электродной системы. После предварительной откачки насос способен поддерживать высокий вакуум без постоянной работы механической откачной ступени.

Электродная система модели включает четыре секции. Исполнение C оснащается нагревательным кожухом. Прогрев уменьшает газовыделение внутренних поверхностей вакуумной системы перед работой в области сверхвысокого вакуума.

Конструкция и принцип работы

Магнитное поле увеличивает длину траектории электронов в разряде и повышает вероятность ионизации остаточного газа. Ионы ускоряются электрическим полем к электродам, где связываются на активных поверхностях и удаляются из газовой фазы. Отсутствие вращающихся деталей в рабочем узле снижает механические вибрации и исключает загрязнение вакуумного объёма масляными парами со стороны самого насоса.

Технические характеристики

• присоединительный фланец — DN150 CF;
• быстрота откачки по воздуху — 220 л/с;
• быстрота откачки по аргону — 2,4 л/с;
• пусковое давление — не выше 5×10^-4 Па;
• предельное давление — 1×10^-8 Па;
• рабочее напряжение — +7 кВ;
• допустимая температура прогрева — до 200 °C с магнитной системой и до 300 °C без неё;
• габаритные размеры — 500×265×430 мм;
• масса — 100 кг.

Применение

2L-200C используют в высоко- и сверхвысоковакуумных системах, где важны чистота откачки и низкий уровень механических возмущений: в ускорительной технике, электронно-вакуумном и полупроводниковом оборудовании, электронной микроскопии, масс-спектрометрии и исследовательских вакуумных установках. Перед включением ионной ступени систему предварительно откачивают до давления, допускающего запуск насоса.