Насосы EBARA серии EV-M

Описание Серия EV-M сконструирована для откачки большого объема выделяющихся при технологическом процессе побочных продуктов, образующихся при изготов...

Получить консультацию по Насосы EBARA серии EV-M

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Насосы EBARA серии EV-M

Описание серии

Описание

Серия EV-M сконструирована для откачки большого объема выделяющихся при технологическом процессе побочных продуктов, образующихся при изготовлении полупроводников, жидких кристаллов и солнечных батарей. В данной серии используются передовые технологии для создания оптимального баланса между химической стойкостью и энергоэффективностью. Данная серия представляет собой последнее поколение насосов, в которых минимизировано время простоя на техническое обслуживание и операционные издержки.

Серия сухих вакуумных насосов EV-M служит для откачки агрессивных сред NF₃, HF, Cl₂ SiH₂Cl₂ и других.

Преимущества и особенности

Интеллектуальная система управления.
Низкое потребление электроэнергии.
Сниженные габаритные размеры.
Датчик протечки воды.

Применение

Травление металлов.
CVD-технологии.

Технические характеристики

Характеристики моделей		EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N
Быстрота действия, м³/ч		108	600	1200	1620	3000
Предельное остаточное давление, Па		5	5	5	5	5
Размер фланцев (вход/выход)		NW40/NW40	ISO100/NW40	ISO100/NW40	ISO100/NW40	ISO160/NW40
Потребляемая мощность (максимальная/при предельном остаточном давл.), кВт		2,2/1,2	3,8/1,8	4,4/1,9	4,7/2,5	5,7/2,1
Водяное охлаждение, л/мин		3-8	3-8	3,5-8	4-8	5-8
Расход азота на продувку, л/мин		15-18	15-18	15-18	15-18	16-20
Габаритные размеры, мм	Длина	820	810	870	961
	Ширина	370	380	380	380
	Высота	620	922	922	1000
Масса, кг		170	320	360	400	500