- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Винтовые насосы EBARA
- Винтовые насосы EBARA серии ESR
Винтовые насосы EBARA серии ESR
На этой странице вы можете выбрать винтовые насосы EBARA серии ESR — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии ESR для сухой вакуумной откачки в промышленных и высокотехнологичных процессах.
Оборудование подходит для полупроводникового производства, вакуумного напыления, химических установок, лабораторных камер и чистых процессов.
Серия ESR отличается надежной винтовой конструкцией, отсутствием масла в рабочем объеме и стабильной работой при длительных циклах. Насосы помогают поддерживать чистый вакуум и снижать риск загрязнения изделий.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии ESR для сухой вакуумной откачки в промышленных и высокотехнологичных процессах.
Оборудование подходит для полупроводникового производства, вакуумного напыления, химических установок, лабораторных камер и чистых процессов.
Серия ESR отличается надежной винтовой конструкцией, отсутствием масла в рабочем объеме и стабильной работой при длительных циклах. Насосы помогают поддерживать чистый вакуум и снижать риск загрязнения изделий.
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 120
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 0.7
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 180
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 6,7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1.7
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 510
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 2.9
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 2800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1.9
Винтовые насосы EBARA серии ESR
Насосы серии ESR прекрасно подходят для многих применений от откачки шлюзовых камер и электронной микроскопии до химического осаждения CVD и откачки химически-активных газов. При этом являются одними из самых энергоэффективных сухих насосов на современном рынке вакуумного оборудования. Подходят для работы в чистых помещениях. Роторы насосов сделаны из специальных коррозионностойких. Насосы данной серии предназначены для применения в процессах высокотемпературной обработки, осаждения тонких плёнок, ионно-плазменного травления, а также откачки вакуумных камер большого объема Для применения в «чистых» технологических процессах продувка азотом не требуется. Отличительной чертой данной серии является очень высокая химическая стойкость.
Скачать каталог
