- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенные насосы ERSTVAK
- Криогенные вакуумные насосы со встроенным контроллером ERSTVAK серии CryoVac EV-ICTP
Криогенные вакуумные насосы со встроенным контроллером ERSTVAK серии CryoVac EV-ICTP
ЭРСТВАК предлагает криогенные вакуумные насосы со встроенным контроллером серии CryoVac EV-ICTP для сверхчистых процессов с высокой степенью автоматизации.
Насосы реализуют принцип чистой откачки за счёт криоконденсации и адсорбции на поверхностях, охлаждённых до 10–20 К, достигая предельного остаточного давления до 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер обеспечивает автоматическую и быструю регенерацию, а также дистанционный мониторинг работы.
Серия разработана для полупроводниковой промышленности и других высокотехнологичных производств, где критичны чистота вакуума и удалённое управление.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает криогенные вакуумные насосы со встроенным контроллером серии CryoVac EV-ICTP для сверхчистых процессов с высокой степенью автоматизации.
Насосы реализуют принцип чистой откачки за счёт криоконденсации и адсорбции на поверхностях, охлаждённых до 10–20 К, достигая предельного остаточного давления до 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер обеспечивает автоматическую и быструю регенерацию, а также дистанционный мониторинг работы.
Серия разработана для полупроводниковой промышленности и других высокотехнологичных производств, где критичны чистота вакуума и удалённое управление.
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 5400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 5400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 7920
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 12960
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 21600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 36000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
Криогенные вакуумные насосы со встроенным контроллером ERSTVAK серии CryoVac EV-ICTP
Криогенные насосы серии ICTP представляет собой полностью автоматизированную систему вакуумной откачки с функциями:
- работы в автоматическом режиме
- быстрой регенерации
- полной регенерации
- дистанционного мониторинга и управления с помощью интерфейса последовательной связи
Насосы данной серии обеспечивают достижение предельного остаточного давления до 10⁻⁷ Па в откачиваемом объеме. Реализуют принцип чистой откачки за счет криоконденсации и адсорбции на поверхностях, охлажденных до температур ~10-20 K.
Серия разработана специально для полупроводниковой промышленности и других высокотехнологичных отраслей, где требуются сверхчистый вакуум, высокая степень автоматизации и управления.
Особенности и преимущества
- Функция автоматической регенерации
- Функция полной регенерации
- Функция автоматической быстрой (частичной) регенерации
- Автоматический контроль вакуума в крионасосе
- Автоматическая компенсация тепловой нагрузки при низких температурах посредством встроенного частотного преобразователя криокулера
- Возможность работы нескольких насосов от одного компрессора
- Повышенная энергоэффективность без снижения производительности
Модели с индексом "W" — облегчённые версии (на 2-5 кг легче стандартных)
