Криогенные насосы

На этой странице вы можете выбрать криогенные насосы — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.

Поможем разобраться

Когда применять турбомолекулярные насосы, а когда криогенные?
Криогенные вакуумные насосы: устройство, принцип работы, применение

Наши проекты

Больше о наших проектах в блоге

Полезные материалы

Поможем разобраться

Когда применять турбомолекулярные насосы, а когда криогенные?
Криогенные вакуумные насосы: устройство, принцип работы, применение

Наши проекты

Больше о наших проектах в блоге

ЭРСТВАК предлагает криогенные насосы для решения любых производственных задач. Мы подготовили краткое описание серий – оно поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

Серии CRYO H&I

GENCRYO – высоковакуумные крионасосы с гелиевым криоохлаждением. Обеспечивают очень высокую скорость откачки по воде, азоту и инертным газам. Применяются в полупроводниковом и дисплейном производстве, вакуумных камерах литографии, травления, напыления и тестовых стендах.

Серии SHI

CP – высоковакуумные крионасосы с 10-К криокулером и двухступенчатой криопанелью. Имеют фланцы диаметром 200–500 мм, обеспечивают скорость откачки до 10 000 л/с, особенно эффективны по водяному пару и легким газам. Возможна горячая замена холодной головки без разгерметизации камеры. Применяются в полупроводниковой, солнечной и оптической промышленности, вакуумном напылении, термовакуумных и исследовательских стендах.

Серии ERSTVAK

CryoVac EV-CTP – криогенные насосы с криокулером на рабочей температуре 10К для адсорбционной откачки. Обеспечивают остаточное давление до 10⁻⁷ Па, высокую скорость откачки по воздуху и водяному пару, полностью безмасляную откачку. Не требуют форвакуумного насоса во время работы, требуют периодической регенерации. Применяются в производстве полупроводников, интегральных схем, дисплеев, нанесении покрытий, вакуумном напылении, научных исследованиях.

CryoVac EV-ICTP – полностью автоматизированные криогенные насосы с функциями автоматической, быстрой и полной регенерации. Обеспечивают предельное давление до 10⁻⁷ Па за счёт криоконденсации и адсорбции на поверхностях 10–20К. Имеют автоматический контроль вакуума, компенсацию тепловой нагрузки, возможность работы нескольких насосов от одного компрессора. Применяются в полупроводниковой промышленности и высокотехнологичных отраслях с требованиями к сверхчистому вакууму.

Фильтры