- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенные насосы ERSTVAK
- Криогенные вакуумные насосы ERSTVAK серии CryoVac EV-CTP
Криогенные вакуумные насосы ERSTVAK серии CryoVac EV-CTP
ЭРСТВАК предлагает криогенные вакуумные насосы серии CryoVac EV-CTP для получения сверхвысокого вакуума. Оборудование сочетает принципы турбомолекулярной и криосорбционной откачки: внутри насоса установлен криокулер с рабочей температурой 10 К, обеспечивающий адсорбцию газов на охлаждённых поверхностях. Такая конструкция позволяет достигать остаточного давления до 10⁻⁷ Па и полностью исключает попадание масла в откачиваемый объём. Насосы не требуют форвакуумного насоса во время работы, просты в управлении и служат долго, но нуждаются в периодической регенерации.
Серию применяют в производстве полупроводников и дисплеев, вакуумном напылении оптики, а также в научных исследованиях и имитации космических условий.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает криогенные вакуумные насосы серии CryoVac EV-CTP для получения сверхвысокого вакуума. Оборудование сочетает принципы турбомолекулярной и криосорбционной откачки: внутри насоса установлен криокулер с рабочей температурой 10 К, обеспечивающий адсорбцию газов на охлаждённых поверхностях. Такая конструкция позволяет достигать остаточного давления до 10⁻⁷ Па и полностью исключает попадание масла в откачиваемый объём. Насосы не требуют форвакуумного насоса во время работы, просты в управлении и служат долго, но нуждаются в периодической регенерации.
Серию применяют в производстве полупроводников и дисплеев, вакуумном напылении оптики, а также в научных исследованиях и имитации космических условий.
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 6120
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 5400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 21600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 36000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 61200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 64800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 75600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 100800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
Криогенные вакуумные насосы ERSTVAK серии CryoVac EV-CTP
Криогенные вакуумные насосы серии CryoVac EV-CTP предназначены для создания высокого вакуума за счет адсорбционного способа откачки (внутри насоса расположен криокулер с рабочей температурой 10К). Они обеспечивают эффективную откачку газовых сред в широком диапазоне давлений, сочетая преимущества турбомолекулярных и криосорбционных технологий.
Области применения
- Производство полупроводников, интегральных схем и дисплеев (LCD/LED/OLED), нанесение покрытий на полупроводники, рост тонких плёнок, ионная имплантация, солнечные панели, оптоэлектронные устройства
- Вакуумное напыление: покрытие оптических линз, защитные покрытия, напыление на стекло
- Научные исследования: моделирование космических условий, вакуумные стенды, вакуумные печи, вакуумные системы ускорителей, приборы для анализа материалов
Особенности и преимущества
- Высокое остаточное давление — до 10−7 Па
- Высокая скорость откачки, особенно по воздуху и водяному пару
- Полностью безмасляная система откачки
- Простота управления и длительный срок службы
- Не требуют форвакуумного насоса во время работы
- Требуют периодической регенерации
