Горизонтальные винтовые вакуумные насосы

ЭРСТВАК предлагает горизонтальные винтовые вакуумные насосы для промышленной вакуумной откачки в технологических процессах. Краткие характеристики серий помогут подобрать горизонтальный винтовой насос под требования конкретного процесса.

ESR — сухие безмасляные насосы EBARA для чистых и коррозионно-активных технологических сред. Применяются в полупроводниковых процессах, PVD, травлении и аналитическом оборудовании.

TECLA — сухие винтовые насосы ERSTVAK с бесконтактной рабочей парой и водяным охлаждением. Подходят для упаковки, металлургии, вакуумной и лиофильной сушки.

ESA — сухие винтовые насосы EBARA для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами, включая водород. Используются в MOCVD и крупных шлюзовых камерах.

EST — сухие насосы EBARA для процессов с высокой газовой нагрузкой и реакционными побочными продуктами. Применяются в CVD, полупроводниковом производстве, нанесении покрытий и химии.

EV-PA — компактные сухие насосы EBARA для чистого вакуума в лабораторном, аналитическом и технологическом оборудовании. Подходят для течеискания, исследований, медицинских и пищевых процессов.

EV-S — многоступенчатые сухие насосы EBARA для чистых и сравнительно лёгких процессов. Применяются в шлюзовых камерах, электронной микроскопии, травлении, PVD и CVD.

EDP — сухие одноступенчатые винтовые насосы ERSTVAK с бесконтактным движением роторов. Обеспечивают безмасляную откачку в области низкого и среднего вакуума.

VSP — сухие винтовые насосы ERSTVAK с водяным охлаждением для чистой технологической откачки. Используются в полупроводниковых, плазменных и фотоэлектрических процессах, а также в сублимационной сушке.

EUREKA — масляные винтовые насосы ERSTVAK для высокопроизводительной промышленной откачки в области низкого вакуума. Рассчитаны на непрерывные технологические процессы с большой газовой нагрузкой.

EV-LR — сухие насосы ERSTVAK с компактной рутс-подобной схемой для стабильной форвакуумной откачки. Применяются в шлюзовых камерах, литографии, PVD и фотоэлектрических процессах.

EV-MR — сухие вакуумные насосы ERSTVAK для жёстких условий полупроводникового производства. Серия ориентирована на процессы травления и технологические линии с повышенной нагрузкой.

EV-SL — двухступенчатые сухие насосы ERSTVAK для высокочистых и производительных вакуумных процессов. Применяются в фотолитографии, биомедицинских и фармацевтических системах.