9-12 ноября ЭРСТВАК примет участие в выставке "ХИМИЯ-2026"

Многоступенчатые насосы Рутса

На этой странице вы можете выбрать многоступенчатые насосы Рутса — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.

ЭРСТВАК предлагает оборудование для повышения скорости откачки в многоступенчатых вакуумных системах. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

ESR – сухие безмасляные насосы для технологических процессов, включая коррозионно-активные среды. Серия сочетает высокую производительность с водяным охлаждением и азотной продувкой, которые учитываются при интеграции в установку.

EV-A – компактные многоступенчатые сухие насосы с воздушным охлаждением. Безмасляный тракт и высокая скорость откачки вблизи атмосферного давления удобны для циклической откачки камер и загрузочных шлюзов.

ESA – сухие безмасляные насосы высокой производительности для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами. Частотное управление помогает согласовать производительность с процессом; доступны коррозионностойкие исполнения.

EV-LR – сухие насосы с рутс-подобной схемой для чистой форвакуумной откачки. Водяное охлаждение, лабиринтные уплотнения и двухсторонняя опора вала рассчитаны на стабильную длительную работу.

EV-MR – сухие насосы на интегрированной рутс-схеме, разработанные для полупроводниковых процессов травления. Регулирование подачи азота и температуры сочетается с коррозионной стойкостью и безмасляной рабочей частью.

Фильтры

ЭРСТВАК предлагает оборудование для повышения скорости откачки в многоступенчатых вакуумных системах. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

ESR – сухие безмасляные насосы для технологических процессов, включая коррозионно-активные среды. Серия сочетает высокую производительность с водяным охлаждением и азотной продувкой, которые учитываются при интеграции в установку.

EV-A – компактные многоступенчатые сухие насосы с воздушным охлаждением. Безмасляный тракт и высокая скорость откачки вблизи атмосферного давления удобны для циклической откачки камер и загрузочных шлюзов.

ESA – сухие безмасляные насосы высокой производительности для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами. Частотное управление помогает согласовать производительность с процессом; доступны коррозионностойкие исполнения.

EV-LR – сухие насосы с рутс-подобной схемой для чистой форвакуумной откачки. Водяное охлаждение, лабиринтные уплотнения и двухсторонняя опора вала рассчитаны на стабильную длительную работу.

EV-MR – сухие насосы на интегрированной рутс-схеме, разработанные для полупроводниковых процессов травления. Регулирование подачи азота и температуры сочетается с коррозионной стойкостью и безмасляной рабочей частью.

Сухой вакуумный насос EBARA ESA 25D Сухой вакуумный насос EBARA ESA 25D
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 180
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.04
  • Мощность, кВт: 3.7
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 70WD Сухой вакуумный насос EBARA ESA 70WD
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 420
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0027
  • Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 200W Сухой вакуумный насос EBARA ESA 200W
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0053
  • Мощность, кВт: 3.2
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 300W Сухой вакуумный насос EBARA ESA 300W
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1800
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0053
  • Мощность, кВт: 6.6
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 500W Сухой вакуумный насос EBARA ESA 500W
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 3000
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
  • Мощность, кВт: 5.1
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 700W Сухой вакуумный насос EBARA ESA 700W
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 4800
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
  • Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D Сухой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 504
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
  • Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 100W-D Сухой вакуумный насос EBARA ESA 100W-D
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 600
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
  • Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR20N Вакуумный насос EBARA ESR20N
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 120
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
  • Мощность, кВт: 0.7
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR30N Вакуумный насос EBARA ESR30N
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 180
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0067
  • Мощность, кВт: 1.7
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR80WN Вакуумный насос EBARA ESR80WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 510
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR200WN Вакуумный насос EBARA ESR200WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
  • Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR100WN Вакуумный насос EBARA ESR100WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 600
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR300WN Вакуумный насос EBARA ESR300WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1800
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 2.9
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR500WN Вакуумный насос EBARA ESR500WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 2800
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 3.1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
  • Мощность, кВт: 1.9
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA EV-A 03-2 Вакуумный насос EBARA EV-A 03-2
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 15
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
  • Мощность, кВт: 0.35
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA EV-A06-2 Вакуумный насос EBARA EV-A06-2
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 36
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
  • Мощность, кВт: 0.55
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA EV-A06N-2 Вакуумный насос EBARA EV-A06N-2
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 36
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
  • Мощность, кВт: 0.55
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA EV-A03N-2 Вакуумный насос EBARA EV-A03N-2
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 15
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
  • Мощность, кВт: 0.35
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA EV-A10-2S Вакуумный насос EBARA EV-A10-2S
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
  • Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA EV-A10-2S-P Вакуумный насос EBARA EV-A10-2S-P
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
  • Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR200 Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR200
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 210
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
  • Мощность, кВт: 1.9
В корзину
1
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR600 Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR600
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 610
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
  • Мощность, кВт: 3.8
В корзину
1
  • 1
  • 2
desc

Многоступенчатые насосы Рутса — конструкция позволяет эффективно работать в широком диапазоне давлений, в том числе при повышенном давлении на входе. В каталоге ERSTVAK представлены многоступенчатые насосы Рутса EBARA серии EV-A для задач, где требуются высокая скорость откачки, чистый безмасляный вакуум и компактное исполнение. Купить многоступенчатые насосы Рутса можно с доставкой по всей России.

Навигация по статье

Преимущества многоступенчатых насосов Рутса

  • Чистая безмасляная откачка — рабочий объем не контактирует с маслом, поэтому вакуум не загрязняется парами смазочных материалов;
  • Высокая производительность при больших газовых потоках — конструкция рассчитана на эффективное удаление значительных объемов газа, в том числе при работе вблизи атмосферного давления;
  • Эффективная откачка водяного пара — насосы способны работать с парогазовыми потоками и откачивать до 500 г водяного пара в час;
  • Компактное исполнение и низкий уровень шума — конструкция подходит для установки в лабораторном и аналитическом оборудовании;
  • Воздушная система охлаждения — отвод тепла осуществляется без использования отдельного контура жидкостного охлаждения;
  • Газобалластный механизм — насос может оснащаться газобалластным клапаном для работы с газами и парами;
  • Дополнительное снижение шума — для оборудования доступны специальные глушители, позволяющие уменьшить уровень шума при эксплуатации.

Области применения многоступенчатых насосов Рутса

Многоступенчатые насосы Рутса применяются в технологических и исследовательских установках, где требуется высокая скорость откачки больших потоков газа и чистая безмасляная откачка.

  • Электронная микроскопия — создание и поддержание вакуумных условий в аналитическом оборудовании;
  • Загрузочные шлюзы и транспортные камеры — быстрая откачка больших объемов газа при подготовке камер к технологическому процессу;
  • PVD-процессы — создание вакуумных условий при физическом осаждении тонких пленок;
  • Жидкостная хромато-масс-спектрометрия — обеспечение вакуумных условий для аналитических установок;
  • Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой — применение в составе аналитического оборудования;
  • Системы кислородной плазмы — безмасляная откачка в плазменных установках;
  • Аналитические приборы — получение требуемого вакуума без загрязнения рабочей среды маслом;
  • Криостатное оборудование — создание вакуумных условий в системах с большими объемами;
  • Физическое осаждение тонких пленок — откачка газа при проведении вакуумных технологических процессов.

Многоступенчатые насосы Рутса EBARA серии EV-A

Многоступенчатые насосы Рутса EBARA серии EV-A

EBARA EV-A — серия сухих многоступенчатых насосов Рутса с воздушным охлаждением, предназначенных для откачки больших потоков газа. Конструкция позволяет получать высокую скорость откачки и эффективно работать при повышенном давлении.

Насосы серии EV-A обеспечивают безмасляную откачку и могут оснащаться газобалластным клапаном и дополнительными глушителями шума. Компактное исполнение позволяет использовать оборудование в лабораторных и аналитических установках, а воздушное охлаждение упрощает эксплуатацию.

Серия EV-A применяется в электронной микроскопии, загрузочных шлюзах и транспортных камерах, PVD-процессах, масс-спектрометрии, системах кислородной плазмы, аналитических приборах и криостатном оборудовании.

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!